备注 | 最终价格以实际配置为准,我司保留最终解释权 |
---|---|
测量范围 | 0-10mm |
精度 | 0.01mm |
类型 | 干涉测厚仪 |
显示方式 | PC |
品牌 | 联合光科 |
型号 | 771002 |
加工定制 | 是 |
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度,其测量原理为:测量激光照射到被测试材料上,经过每个表面反射后被收集,然后在光学干涉仪上进行分析,光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”,它测量每个反射信号的长度差,以确定每一层的厚度和总厚度。
典型应用:
? 光学元件和透镜组件:测量单个镜片以及镜头组包括空气间隔
? 隐形眼镜和人工晶状体:测量中心厚度、矢高和群折射率
? 医用导管窥镜:可同时测量管壁厚、内径和外径LCD、LED、OLED和AMOLED显示屏:测量总厚度和各层厚度,包括LOCA(液体光学透明粘合剂)层
? 半导体:硅/砷化镓晶片
抛光玻璃:测量化学腐蚀前后的厚度或抛光工艺,使玻璃板更薄、更轻。
主要优势
? 非接触式测量,不会造成元件表面损坏或变形。
? 用于高精度定位测量位置的可见光束。
? 可同时测量31层壁厚。
? 精度可达±0.1微米。
? 测量重复性达±0.02微米。
? 基于内部固有长度标准,实时显示测量数据。
? 测量结果可追溯至NIST标准。
? 测量物理厚度可达12微米(折射率1.5时)。
? 集成装置,操作简便,更无需专用PC。
可靠性和重复性
LensThick光学测厚仪具有很好的性能,确保测试结果的准确性。可连续测量和特殊的干涉仪设计保证了每一次的测量精度和可重复性,通过不断地将测量结果引入内置的“光学尺”,可以长时间保证这种性能。为了增加可靠度,每台光学测厚仪都经过严格的测试和认证,其标准可追溯到NIST。
l 测量精度可达±0.1μm。
l 测量理想元件厚度,长期可重复性为±0.02μm。
l 不需要外部校准或任何用户干预。
设备介绍
LensThick光学测厚仪的操作简单,每次可轻松获得可靠的厚度值。测量数据经过数字信号处理器计算,通过USB传输到PC,再以图形的形式显示在用户界面,可直接读取每层厚度值,操作更简单、更直观。
仪器连接
2 主机和控制器分别通过USB线连接到电脑。
2 主机和控制器之间通过光纤连接。
2 控制器电源线接外部电源。
测量过程
(1)将光学测量头对准被测产品。
(2)激光通过光学测量头照射到材料表面。
(3)光学测量头收集反射光并将其返回到系统的干涉仪进行分析。
(4)测量数据通过USB传输到电脑。
(5)LensThick软件用于显示测量结果、设置参数及输出数据报告。
测量产品调整
测量头固定在稳定的支架上,无需调整。测量过程中通过调整五维调节台,使被测产品表面中心垂直于测量头激光入射方向,此时软件界面显示对应峰值。
测量软件
光学测厚仪使用LensThick软件可实时显示被测试产品的厚度和干涉信号,以便实时优化。
规格参数 |
|
| LensThick 系列 | ||
型号 | 12-1 UP | 12-1 | 40-1 UP | 40-1 | |
厚度测量 | |||||
| 方法 | 非接触式光学干涉法 | |||
| 光学厚度上限 (折射率为1的空气间隔) | 12 mm | 40 mm | ||
| 物理厚度上限 (折射率为1.5的材料) | 8 mm | 26 mm | ||
| 物理厚度下限 (折射率为1.5的材料) | 16 μm(±0.1μm精度) | 35 μm | 20 μm(±0.1μm精度) | 35 μm |
| 12 μm(±1 μm精度) | 12 μm(±1 μm精度) | |||
| 精度 1,2 | ±0.1 μm | ±1 μm | ±0.1 μm | ±1 μm |
| 重复性 3,4 | ±0.02 μm | ±0.05 μm | ±0.02 μm | ±0.05 μm |
| 可溯源 | NIST认证标准 | |||
| 单位 | mm、μm、mils | |||
测量频率 | 20 Hz | 7 Hz | |||
仪器接口 | USB2.0及以上接口 | ||||
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存,USB2.0以上接口,显示器,鼠标 | ||||
环境 5 | |||||
| 热机时间 | 无 | |||
| 温度 | 15℃ 到 30℃ (存储 -10℃ 到 +70℃) | |||
| 压力 | 500 — 900 mm Hg | |||
| 湿度 | 在+40℃时 ≤90% R.H. (无冷凝) | |||
尺寸和重量 | |||||
| 尺寸 | 510mm×525mm×125mm(长×宽×高) | |||
| 重量 | 17.2㎏ | |||
功率 | 90-264 VAC,47-63 Hz,80 VA最大 | ||||
质保期 | 1年 |
⑴ 定义为测量不确定度或厚度误差,置信度≥99.7%。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4%反射条件下给出的。
当反射条件较低时,重复性至多会降低到约±0.15μm。
⑸ 特性性能,但不是一定的。